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シリコンナイトライドに新しいフォトニック集積プラットフォーム【VLC Photonics+ LIGENTEC】

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 シリコンナイトライドの製造ファンドリサービスを提供しているLIGENTECと、フォトニック回路開発向けにサービスを提供している先駆的デザインハウス、VLCPhotonicsは、提携して、フォトニック集積回路(PIC)のプロトタイピングと製造のための一般的なプラットフォームを提供すると発表した。

 LIGENTECは、シリコンナイトライドプロセスを完成させている。超低損失伝搬が可能になっており、昨年は世界記録のデバイスをいくつか発表している。同社CEO、Michael Zervasは、「当社のプロセスは100 nm~2500 nmまでの厚膜シリコンナイトライドを堆積することができ、材料の応力が原因となる亀裂の形成という課題を克服している」とコメントしている。プロセスは、8インチウエファとステッパ―リソグラフィを使って量産が可能になっている。

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